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首頁 > 供應產品 > 探針輪廓儀(臺階儀)DEKATK150
探針輪廓儀(臺階儀)DEKATK150
單價 面議對比
詢價 暫無
發貨 上海預售,付款后30天內
品牌 VEECO
過期 長期有效
更新 2010-10-21 11:23
 
詳細信息
40多年的探針輪廓技術創新于一身,該系統在行業內的表現遙遙領先,以重現性最佳和標準掃描范圍最大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項,用于程序化測量、低探針力表征和細節分析
臺階儀 Dektak 150 表面輪廓儀(探針式)
規格:
測試技術:探針輪廓技術
測試功能:二維表面輪廓測試
樣品視場:640*480像素,USB17 inc 平板顯示器
探針傳感器:低慣量傳感器(LIS 3
探針壓力:使用LIS 3傳感器:115 mg
          使用N-lite傳感器:0.0315 mg
探針選項:探針曲率半徑可選范圍:50 nm25 um;
          高徑比針尖:10 um * 2 um 200 um*20 um
樣品載物臺:手動X/Y/@100*100 mm, 360度旋轉,可手動校平;
            可選Y自動移動載物臺,100 mm行程,1um重現性,0.5 um分辨率;
            可選X-Y自動移動載物臺,150 mm行程;
            1um重現率,0.5 um 分辨率
計算機系統:主機使用celeron或者semprom處理器
軟件:Dektak軟件
      臺階檢測軟件
      可選應力測量軟件
      可選三維Vision分析軟件
      可選縫合軟件
減震裝置:可選桌式震動隔離裝置
          可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數據點最多12萬數據點
最大樣品厚度高達90 mm (4英寸),取決于配置
最大晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階高度重現性 6
垂直范圍:標準524um(0.02英寸);可選1mm
垂直分辨率:最大1A6.55um垂直范圍下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
電源要求:           
輸入電壓: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
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